サービス内容

  • １）2次元光誘起キャリヤ実効ライフタイム測定
    ２）光誘起キャリヤ再結合欠陥解析
    ３）欠陥解析、欠陥低減技術相談

解析事例

  • 解析完了後、お客様に納品するデータの一例です。 下記以外のデータ例をご希望の方は、担当の者が対応致しますので、以下のメールアドレスにご連絡下さい。

    E-Mail : shark-tech@sameken.co.jp

    Sample1 Sample2

半導体キャリヤ解析法の特徴

  • 東京農工大学鮫島教授により開発された測定解析システムである、マイクロ波フリーキャリヤ吸収測定システムを用いて半導体キャリヤの測定解析を行います。このシステムの特徴として、以下の３点が挙げられます。

    • 従来にない高精度広範囲のシート抵抗（100 kΩ 〜 2 Ω）及びキャリヤ濃度（108 〜 1013 cm-2）の非破壊測定を実現
    • 定常微弱光照射により誘起された実効少数キャリヤライフタイムライフタイムの非破壊精密測定が可能（10 ms 〜 0.5 µs）
    • バルクライフタイム、表面再結合速度の解析が可能
    micro1

参考文献

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